- 仪器名称：电子束镀膜
- 厂商：美国，Kurt J. Lesker Company
- 型号：Kurt J. Lesker PVD75 Proline EB
- 购买日期：2016-12-22
- 放置地点：化学楼B117室
- 管理员：张盼科
- 简介：品牌：科特·莱思科型号：PVD75 Proline EB 腔室尺寸：15.25” 宽x 16.50” 宽 x 24” 高电子枪：5KW固态电容电源坩埚：4个样平台：水冷，0-20 rpm旋转 电子束蒸发镀膜是利用电子束轰击坩埚内镀膜材料使其加热蒸发，从而在基片上沉积成膜。
